智能化学气相沉积（CVD ）镀膜设备生产项目技术团队

项目培育单位:武汉化工新材料工业技术研究院

项目建设地点:武汉工程大学

产品用途:机械、微电子、光学、汽车、模具、电学及航空航天等领域。

一、项目简介

国际上根据工艺流程的不同，真空镀膜技术可分为化学气相沉积技术(CVD，Chemical Vapor Deposition)和物理气相沉积技术(PVD，Physical Vapor Deposition)。CVD 是近年来 兴起的一种先进薄膜制备技术，采用 CVD 制备的薄膜致密，薄膜与基板的结合力强且薄膜沉 积速率高，非常适合工业化应用。

本项目生产的产品，主要依托武汉工程大学赵培教授自主研发的“智能化学气相沉积法 制备多类功能及结构薄膜技术”(以下简称“CVD 镀膜技术”)，该核心技术内容包括镀膜工艺的研发和镀膜设备的研制，经行业专家论证，该核心技术已达到国际先进、国内领先的水平，该项技术及设备能填补国内真空镀膜设备行业在国产化CVD镀膜设备领域的空白。目前，本项目生产的CVD镀膜设备已在国内部分科研院所和企业得到应用，因价格低廉、性能 优良，客户普遍反映良好，本项目已具备产业化的条件。

二、项目技术团队负责人介绍

赵培，“湖北省教育厅有关人才计划湖北省教育厅有关人才计划学子”特聘教授，武汉工程大学“工大学者”特聘教 授，“湖北省杰出青年科学基金”、“武汉市青年科技晨光计划”人才基金项目获得者。主 持国家自然科学基金等科研项目十余项。在薄膜制备、表征及功能陶瓷材料等研究方向，以第一作者在 Applied Physics Letter, Scripta Materialia, Journal of America Ceramics Society, Surface & Coatings Technology, Superconductor Science and Technology，Applied Surface Science, Materials Letters 等国际主流期刊上发表 SCI 收录论文 30 余篇，申请国家专利 6 项，已授权 1 项。

CVD 镀膜技术是赵培教授在日本东北大学金属材料研究所(材料领域世界排名第 一)求学、工作期间，吸收国外 CVD 相关技术基础上，经过近 10 年的潜心研究实验，进一步创新发展完成的项目。经过近年来国内的推广应用验证，该项技术已达到国际先进、国内 领先的水平，研制的 CVD 镀膜设备具有技术成熟度高、产品质量稳定、制造和使用成本低等 优势，具备初步产业化的条件。

三、投资的必要性

1.产品技术先进性

本项目技术团队负责人多年来一直从事CVD镀膜技术研究工作，在日本东北大学(Tohoku University)金属材料研究所求学和从事科研工作期间，一直致力于CVD技术的研究开发，2013年回国后从事相关研究至今，已申请相关专利1项，核心技术未申请专利，项目技术具有完全的自主知识产权。该项目负责人目前已经研制出10余台科研用的小型CVD镀膜设备和大型CVD工业设备，设备制造工艺成熟，使用过程中未发现任何问题，对比国外同类型CVD产品，本项目产品的技术已达到国际先进、国内领先的水平。

2.本项目CVD镀膜技术的优势

对比PVD镀膜技术，优势如下：

（1）膜原子与基板原子在化学反应过程中键合，不会脱落；

（2）高温扩散杜绝了“阴影效应”的现象，因而能在复杂异型工件上镀膜；

（3）沉积速率快，产品生产成本低；

（4）真空度要求低，设备生产成本低。

PVD与CVD技术对比    

基于以上优势，CVD镀膜技术及设备取代PVD镀膜技术及设备，至少部分取代PVD镀膜技术及设备只是时间问题。

3.本项目CVD镀膜设备的优势

本项目产品已经具备成熟的设计、加工制造的条件，量产的设备性能能完全媲美外国进口的同类型CVD镀膜设备，且具有价格上的巨大优势，如国外进口的工业用CVD镀膜设备，销售价格普遍在300万人民币以上，而本项目的工业用CVD镀膜设备国内销售价格基本能控制在100-150万人民币，本项目产品一旦工业化生产，配合一定的市场推广，取代进口CVD镀膜设备也只是时间问题。

4.市场需求

通过市场调查发现：目前国内销售市场上，还没有媲美外国同类型CVD镀膜设备功能的国产设备销售，市面上销售的所谓“CVD镀膜设备”，实质上是仍旧停留在90年代管式炉工艺的产品，属于逐渐要淘汰的产品，对比本项目产品，其在工艺水平、腔体尺寸大小、应用范围、质量稳定性等方面都是天差地别，其市场容量有限，目前仅有少量实验室使用。

对于近年来兴起的CVD镀膜技术及设备，其核心技术被欧美、日韩等发达国家牢牢把控，进口其CVD镀膜设备不仅价格昂贵（单台设备普遍售价300万人民币以上），而且会受到一定限制（因技术壁垒）。

经过近年来的小范围推广应用，本项目产品已在国内部分科研院所、工业企业使用，通过收集客户的反馈信息，我们分析发现：本项目产品性能优越、质量稳定、价格便宜，国产CVD镀膜设备市场存在大量的潜在客户，如有因进口CVD镀膜设备价格昂贵，生产成本居高不下的；有退而求其次，选择PVD镀膜设备的；有因PVD镀膜设备的功能无法实现的，甚至放弃相关产品生产的；有使用管式炉CVD的，等等。

根据行业统计数据显示：2017年国际真空镀膜设备市场销售规模约为34亿美元，国内真空镀膜设备市场销售规模约为8.3亿美元，国内真空镀膜设备市场主要包括PVD镀膜设备和CVD镀膜设备，在国家“中国制造2025”的政策背景支持下，本项目在智能制造行业——真空镀膜CVD国产化领域具有唯一性，本项目产品的大量上市，必将填补国产CVD镀膜设备的空白。项目前景可谓不言而喻。